近期，來自上海金橋出口加工區（南區）的中微半導體設備（上海）有限公司傳來消息，該公司自主研製的5納米等離子體刻蝕機經台積電驗證，性能優良，將用於全球首條5納米製程生產線。這意味著國產半導體設備力量正在逐漸壯大。
據了解，在芯片製造眾多環節中，薄膜沉積、光刻和刻蝕是3個核心環節，用於這3個環節的3種設備合計占芯片製造生產線設備投資總額的50%-70%。其中，等離子體刻蝕機是用來按光刻機刻出的電路結構，在矽片上進行微觀雕刻，刻出溝槽或接觸孔的設備。刻蝕美女福利导航的高低直接決定了芯片製程的大小，在成本上僅次於光刻。而5納米相當於頭發絲直徑的兩萬分之一，是目前芯片製程工藝最小線寬，對刻蝕機的控製精度提出超高要求。
中微半導體聯合創始人倪圖強表示，中微半導體與泛林、應用材料、東京電子、日立4家美日企業，組成了國際第一梯隊，為7納米芯片生產線供應刻蝕機，如今通過台積電驗證的5納米刻蝕機，預計能獲得比7納米更大的市場份額。
根據台積電對外公布的信息，該公司將於2019年進行5納米製程試產、預計2020年量產。
一位業內人士指出，作為台積電長期穩定的設備供應商，中微半導體在台積電量產28納米製程時兩者就已開始合作並一直延續至今。這次5納米生產線將再次采用中微半導體的刻蝕設備，足見台積電對中微半導體美女福利导航的認可。
目前，中微半導體的介質刻蝕設備、矽通孔刻蝕設備、MOCVD設備等均已成功進入海內外重要客戶供應體係。在今年年中中微公司對外發布的信息中提到，中微通過創新驅動自主研發的等離子體刻蝕設備和矽通孔刻蝕設備已在國際主要芯片製造和封測廠商的生產線上廣泛應用於45納米到7納米及更先進的加工工藝和最先進的封裝工藝。截至今年年中，在亞洲地區40多條國際領先的生產線上運行的中微反應台已將近800個。
有數據顯示，第三季度中國大陸半導體設備銷售額首次超越韓國，預計明年將成為全球最大半導體設備市場，中微半導體也有望迎來更大的發展。
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